近日，成都超迈光电科技有限公司大型等离子喷涂线正式建成投产，标志着公司从原子级到纳米级，到微米级功能薄膜设备和工艺完全自主可控，通过引进设备，如今也实现了超大尺寸零件微米，毫米级功能薄膜投产!

据悉，等离子喷涂是使用直流电源驱动，通过阴极与阳极之间产生超高温度的电弧等离子体，进而瞬间加热陶瓷等材料形成半熔融化，沉积在基材表面生成涂层的工艺方式。

等离子喷涂产品经常应用于刻蚀机台内与核心反应区域直接接触的内衬等套件，以及PECVD、离子注入等兼具电学与化学腐蚀环境的机台中。等离子喷涂生成的涂层具有高化学稳定性、高耐腐蚀性、高抗电性能、高洁净度及延长产品寿命等优点。

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